[发明专利]一种基于MEMS谐振器耦合振子的声子频率梳生成方法有效
| 申请号： | 202110320632.6 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113098427B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;阳琪琪;王雪峰;徐柳;徐宇涛;宦荣华 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/24;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS谐振器耦合振子的声子频率梳生成方法，通过增加两个梁的耦合电压使得两个静电耦合的梁发生耦合，当低频谐振梁振幅为6.5～7mV时，将出现内共振现象，此时以内共振频率频率的三倍定频激励高频谐振梁，而在以内共振频率为中心1～40Hz的范围内定频激励低频谐振梁，低频谐振梁的频率响应将呈现等间距的谱线，本发明摆脱了产生声子频率梳时MEMS谐振器中需存在多个强耦合模态的限制，降低了产生频率梳的条件。同时，梳状区域的带宽由激励强度和耦合强度调节。通过改变低频谐振梁或高频谐振梁的激励频率梳，实现任意间距的声子频率梳，具有很强的灵活性。其次，声子频率梳声学频率梳的多频特性具有大幅度提升声学测距、成像以及无线通讯器件性能的潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 谐振器 耦合 频率 生成 方法 | ||
【主权项】：
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