[发明专利]一种在功率器件中排布金属层的方法在审
| 申请号： | 202110321772.5 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113140622A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 乔伊·迈克格雷格 | 申请（专利权）人： | 成都芯源系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/40 | 分类号： | H01L29/40;H01L21/336;H01L29/78;H01L21/768 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成都市成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种功率场效应器件及其金属层的排布方法，所述功率场效应器件包括：第一介电层及镶嵌于第一介电层的第一金属层；第二介电层及镶嵌于第二介电层的第二金属层；其中，所述第一金属层和第二金属层直接接触，中间没有通孔层。本发明将第一金属层和第二金属层直接接触，并通过各金属层的排布避免电极间的短接，从而移除了传统工艺中连接相邻金属层的通孔层，有效地节省了一道掩膜工序，降低了功率场效应管的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 器件 排布 金属 方法 | ||
【主权项】：
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