[发明专利]一种静态生长单晶金刚石的制备方法在审
| 申请号： | 202110322264.9 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113249787A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 吕继磊 | 申请（专利权）人： | 湖北碳六科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/00 |
| 代理公司： | 宜昌市慧宜专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 42226 | 代理人： | 彭娅 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市中国*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及金刚石基底制备技术领域，具体涉及一种静态生长单晶金刚石的制备方法，将籽晶放置入腔体中，在腔体首先通入氢气充满腔体，产生等离子体；通入含碳气源进行金刚石的生长，金刚石生长过程中间断的通入含碳气源作为补充，保证腔体维持一定的压力，籽晶生长，完成制备。本发明采用氢气整体充满腔体，即氢气作为金刚石反应的催化剂，在腔体内是一定的，甲烷是补充的，甲烷的利用率达到100%。节约成本，合成质量大大提高，以往动态过程中会混入气体杂质，导致纯度不够，现在可以完全避免气体杂质的引入。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静态 生长 金刚石 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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