[发明专利]一种声表面波高温压力传感器有效
| 申请号： | 202110322360.3 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN112945430B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 韦学勇;王雨晨;李兵;任子明;赵明辉;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L1/25;G01L9/08;G01L11/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 高博 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波高温压力传感器，合金外壳内设置有传感器芯片，传感器芯片上方的合金外壳处设置有压力敏感膜，压力敏感膜通过传力顶针与传感器芯片连接，传感器芯片一侧的合金外壳内设置有接收天线，另一侧对应设置有发射天线。本发明能够在恶劣环境下进行高温压力测量，并且可实现无线无源，灵敏度高，稳定性高，成本低，易于量产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
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