[发明专利]一种具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚有效
申请号: | 202110322512.X | 申请日: | 2021-03-25 |
公开(公告)号: | CN113073381B | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
发明(设计)人: | 鲍思权;陈振宇;周娩红;朱苏华 | 申请(专利权)人: | 湖南世鑫新材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人: | 蒋太炜 |
地址: | 412007 湖南省株洲市天元区仙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明属于单晶硅拉制炉用热场部件技术领域,具体涉及一种具有碳化硅/硅复合陶瓷层的坩埚。所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内外表面的碳化硅/硅复合陶瓷层,或所述坩埚包括炭/炭复合材料构成的坩埚以及附着于炭/炭复合材料坩埚内表面的碳化硅/硅复合陶瓷层,所述碳化硅/硅复合陶瓷层是由碳化硅和硅彼此镶嵌混合而组成。本发明通过制备工艺与坩埚结构的优化匹配;得到了性能优良、使用寿命长久的产品。本发明制备工艺可控,便于大规模工业化应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 碳化硅 复合 陶瓷 坩埚 | ||
【主权项】:
暂无信息
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