[发明专利]半导体设备及外点火装置的温度控制系统、方法及控制器有效
| 申请号： | 202110325705.0 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113110635B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 慕晓航;郑旺军;耿丹 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种半导体设备及外点火装置的温度控制系统和温度控制方法，半导体设备中外点火装置的温度控制系统，包括温度控制器、温控执行器及温度传感器，其中：温度传感器用于检测外点火装置的实际温度，并将实际温度发送至温度控制器；温度控制器用于获取外点火装置的气体流量，并根据气体流量和实际温度与目标温度之间的温度偏差确定向外点火装置施加的功率，并将功率发送至温控执行器；温控执行器与外点火装置连接，用于根据接收到的功率对外点火装置进行加热。应用本申请，可在确保外点火装置的控温精度的条件下，提高系统的灵活性和响应的快速性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 点火装置 温度 控制系统 方法 控制器 | ||
【主权项】：
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