[发明专利]光栅衍射效率测试装置及方法有效
| 申请号： | 202110325791.5 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113218627B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 艾立夫;赵东峰;杜凯凯;董立超;刘宝山;刘艺;朱春霖;彭旭;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 王迎;袁文婷 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光栅衍射效率测试装置及方法，其中的装置包括光源、设置在光源与待检测的衍射光波导之间的分束装置、设置在衍射光波导一侧的棱镜，以及第一光功率计和第二光功率计；其中，分束装置用于将光源发射的光束分为第一光束和第二光束，第一光功率计用于检测第一光束的第一功率；第二光束通过衍射光波导的耦入光栅进入衍射光波导内部后经棱镜射出；或者，第二光束经棱镜进入衍射光波导内部，并从衍射光波导的耦出光栅射出；第二光功率计用于检测经衍射光波导或者棱镜射出的第二光束的第二功率；根据第一功率和第二功率确定衍射光波导的衍射效率。利用上述发明能够实现耦出区和耦入区的分别测试，提高光栅衍射效率的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 衍射 效率 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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