[发明专利]液处理装置的运转方法和液处理装置在审
| 申请号： | 202110326560.6 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113492072A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 西畑广;李贤友 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B15/55;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种液处理装置的运转方法和液处理装置，在使向基板供给处理液来对基板进行处理的液处理装置运转时，可靠且迅速地进行构成装置的流路系统的清洗。实施以下工序：处理工序，利用设置于包括供给路径的流路系统的泵使处理液从处理液供给源向设置有过滤器的所述供给路径的下游侧流通，使处理液从形成所述供给路径的下游端的供给部供给到基板来对该基板进行处理；清洗工序，向所述流路系统供给清洗液来清洗该流路系统；以及供给路径清洗工序，包括在所述清洗工序中，在所述供给路径中的流体的压力损失比所述处理工序中的该压力损失低的清洗用状态下从该供给路径的上游侧向下游侧供给所述清洗液，来清洗该供给路径。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 运转 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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