[发明专利]一种同时测量光学元件反射透射畸变差的方法及装置

摘要

一种同时测量光学元件反射透射畸变差的方法及装置，探测光源入射至第一半透半反镜，第一半透半反镜与待测样品平行，经第一半透半反镜透射出的透射光作为探测光，探测光入射至待测样品，经过待测样品后分为反射光和透射光，反射光和透射光其对应的光路分别称之为反射臂和透射臂，透射臂上的光束经第一光程差调节机构、第一反射镜后入射到第二半透半反镜；反射臂上的光束经第三半透半反镜反射出的光束入射到第二半透半反镜，与入射到第二半透半反镜上的透射臂上的光束干涉，由第一相机采集成像为干涉条纹。本发明可实时在线定量反推强光光学元件前后表面的形变，结果准确，并且可以利用单个相机测量透射光和反射光之间的光程差。