[发明专利]双束双焦带电粒子显微镜在审
| 申请号： | 202110331186.9 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113471043A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | A·亨斯特;Y·邓;H·科尔;A·穆罕默德-盖达里 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/26;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开的用于使用双束双焦带电粒子显微镜来研究样本的方法和系统包括向所述样本发射多个带电粒子，将所述多个带电粒子形成为第一带电粒子束和第二带电粒子束，以及修改所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束中的至少一束的聚焦特性。修改所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束中的至少一束的所述聚焦特性，使得所述第一带电粒子束和所述第二带电粒子束的对应焦平面不同。 | ||
| 搜索关键词： | 双束双焦 带电 粒子 显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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