[发明专利]同步STEM和TEM显微镜在审
| 申请号： | 202110331202.4 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113466273A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | A·亨斯特拉;Y·邓;H·科尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2206 | 分类号： | G01N23/2206;G01N23/2251;G01N23/04;G01N23/20;G01N23/20058 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 同步STEM和TEM显微镜。用于使用单个电子显微镜系统通过TEM和STEM技术研究样本的方法包含以下步骤：朝着所述样本发射电子；将所述电子形成为两个束；以及然后修改所述两个束中的至少一个束的聚焦特性，使得所述两个束具有不同的焦平面。一旦所述两个束具有不同的焦平面，第一电子束被聚焦，使得所述第一电子束充当聚焦在所述样本处的STEM束，并且第二电子束被聚焦，使得当入射到所述样本上时，所述第二电子束充当作为平行束的TEM束。然后，可以由单个检测器或检测器阵列检测由入射到所述样本上的所述STEM束和所述TEM束产生的发射，并且所述发射用于产生TEM图像和STEM图像。 | ||
| 搜索关键词： | 同步 stem tem 显微镜 | ||
【主权项】：
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