[发明专利]电子衍射全息照相术在审
| 申请号： | 202110331227.4 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113466269A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | A·亨斯特拉;Y·邓;H·科尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/20058 | 分类号： | G01N23/20058;H01J37/21;H01J37/295 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 电子衍射全息照相术。根据本公开，用于使用电子衍射全息照相术来研究样本的方法包括以下初始步骤：向所述样本发射多个电子；将所述多个电子形成为第一电子束和第二电子束；以及修改所述两个束中的至少一个的聚焦特性，使得所述两个束具有不同的焦平面。一旦所述两个束具有不同的焦平面，所述方法就包括：聚焦所述第一电子束，使得其在所述样本处或所述样本附近具有焦平面；以及聚焦所述第二电子束，使得其入射到所述样本上，并在衍射平面中具有焦平面。然后在所述衍射平面中检测所述第一电子束和衍射的第二电子束的干涉图案，然后用于生成衍射全息图。 | ||
| 搜索关键词： | 电子衍射 全息 照相术 | ||
【主权项】：
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