[发明专利]偏心量测装置及其量测方法在审
| 申请号： | 202110332085.3 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113074915A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 施宏欣;吴朵朵 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/04 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种偏心量测装置，利用一真空系统将一固定机构的抽气通道内的空气抽出，以使位在该抽气通道上方的镜组可被固定在该固定机构上。由于该偏心量测装置在进行量测时，无需将该镜组翻面，因此只需要量测一次该镜组的光轴，所以该偏心量测装置的量测速度较快，量测的精准度也较高。 | ||
| 搜索关键词： | 偏心 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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