[发明专利]一种高强度高模量镁铝硅基板材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110333542.0 申请日: 2021-03-29
公开(公告)号: CN113087502B 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 李波;张平;谌祝廷 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: C04B35/14 分类号: C04B35/14;C04B35/622
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 甘茂
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明属于电子陶瓷材料领域,具体提供一种高强度高模量镁铝硅基板材料及其制备方法,适用于超大规模集成电路封装基板;该基板材料组成成分为:MgO为11~16wt%、Al2O3为18~28wt%、SiO2为47~53wt%、ZrO2为2~10wt%、B2O3为2~6wt%、BaO为1~5wt%。本发明通过BaO掺杂,有效抑制了Indialite相Mg2Al4Si5O18的形成,促进了石英固溶体相(MgAl2Si3O10)0.6的生成,最终形成了(MgAl2Si3O10)0.6和Indialite的相嵌结构,进而使得材料内应力增加,获得良好的机械性能:抗弯强度达到310MPa、杨氏模量达到110GPa,且热膨胀系数较低:4.3~4.7×10‑6/℃,能够显著提高集成电路封装的可靠性;同时,本发明提供的镁铝硅基板材料还具有介电常数低、介质损耗低、制备工艺简单、制备成本低等优点,有利于工业化生产,对于超大规模集成电路封装基板具有潜在的应用价值。
搜索关键词: 一种 强度 高模量镁铝硅基 板材 料及 制备 方法
【主权项】:
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