[发明专利]一种涂布中检知基板金属异物的装置在审
| 申请号： | 202110333941.7 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN112965116A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王慧 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01V3/02 | 分类号： | G01V3/02;G01B7/00;G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201500 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种涂布中检知基板金属异物的装置，包括一干涉条，干涉条设置于待涂布基板的上方，并位于涂布机中喷嘴靠近未涂布的待涂布基板的一侧；一薄膜，包覆于干涉条外表面；一图案化的金属电极层，设置于薄膜表面；一检测组件，输入端连接金属电极层，用以当金属电极层被导通时提示检出金属异物。本发明提供的涂布中检知基板金属异物的装置能够有效检出涂布过程中基板上存在的现有技术无法检出的金属异物，且能在发现异物后及时使涂布设备停止运行，避免异物损伤基板，能够最大程度的避免涂布中异物对产品和喷嘴的损伤，提升涂布产品良品率，将产品损坏损失降到最低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂布中检知基板 金属 异物 装置 | ||
【主权项】：
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