[发明专利]生物传感器在审
| 申请号： | 202110334068.3 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113203773A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 萧怡馨;黄睿政;黄毓杰 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H01L29/78 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李春秀 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及生物传感器。根据本发明的一些实施例，一种生物传感器包含：半导体层，其具有第一表面及与所述第一表面对置的第二表面；FET装置，其在所述半导体层中；隔离层，其在所述半导体层的所述第一表面上方；电介质层，其在所述隔离层及所述半导体层的所述第一表面上方；及一对第一电极及一对第二电极，其在所述电介质层上方且彼此分离。所述隔离层具有基本上与所述FET装置对准的矩形开口。所述矩形开口具有一对第一侧及一对第二侧。所述一对第一侧的延伸方向垂直于所述一对第二侧的延伸方向。所述一对第一电极安置于所述一对第一侧上方，且所述一对第二电极安置于所述一对第二侧上方。 | ||
| 搜索关键词： | 生物 传感器 | ||
【主权项】：
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