[发明专利]非产品晶圆控制系统及方法、存储介质及电子设备有效
| 申请号： | 202110334261.7 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113050576B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 姜威;钟如洁;陈建志;黄德龙 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开是关于一种非产品晶圆控制系统、非产品晶圆控制方法、计算机可读存储介质及电子设备。该非产品晶圆控制系统包括：监控模块：用于监控非产品晶圆所处的状态；统计模块：用于统计所述非产品晶圆的使用信息；控制模块：用于接收生产指令，并根据所述非产品晶圆所处的状态和所述使用信息对所述非产品晶圆进行控制。本公开实现了非产品晶圆的自动化控制管理的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 产品 控制系统 方法 存储 介质 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长鑫存储技术有限公司，未经长鑫存储技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110334261.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
