[发明专利]智能功率模块和智能功率模块的制备方法在审
申请号: | 202110334391.0 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN112968026A | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 王敏;左安超;谢荣才 | 申请(专利权)人: | 广东汇芯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L25/16 | 分类号: | H01L25/16;H01L23/488;H01L23/498;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 深圳市辰为知识产权代理事务所(普通合伙) 44719 | 代理人: | 唐文波 |
地址: | 528000 广东省佛山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种智能功率模块和智能功率模块的制备方法,通过在电路基板上设置绝缘层,在绝缘层上设置电路布线层,通过等离子清洗设备对电路布线层的表面进行清洗,进而在电路布线层上形成第一等离子层,电路元件配置于电路布线层,多个引脚与电路布线层电性连接;从而通过密封本体包裹设置电路元件的电路基板时,基于第一等离子层的等离子活性作用,提高密封本体与电路布线层的结合力,使得密封本体紧密包裹电路基板;通过等离子清洗设备对电路布线层的表面进行等离子清洗,不会在电路布线层的表面残留异物,进而能够提高密封本体与电路基板的结合力,提高了智能功率模块的制备效率,且无需在电路基板背面增加纹理,提高了电路基板的适用范围。 | ||
搜索关键词: | 智能 功率 模块 制备 方法 | ||
【主权项】:
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