[发明专利]一种蚀刻液蚀刻速率测试装置及测试方法有效
| 申请号： | 202110337035.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN112730146B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 李辉;申胜男;于凯;盛家正 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01N5/04 | 分类号： | G01N5/04;H05K3/06 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 杨宏伟 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蚀刻液蚀刻速率测试装置及测试方法，测试装置包括压力表、喷嘴、三通、阀门、注射管和推进机构，通过三通将压力表、喷嘴和注射管三者相连，所述喷嘴下方设有用于放置待刻蚀样品的样品台，所述注射管的活塞杆与推进机构相连，通过推进机构推动活塞杆将注射管内的液体注入到三通中，通过喷嘴喷淋在待刻蚀样品上，所述压力表用于测量喷嘴处的喷出压力。本发明根据测试前与测试后的铜的质量进行比较分析，利用失重法计算出铜的刻蚀速率。其中注射管与推杆之间活性连接，可供拆卸以实现不同蚀刻液的快速更换，具有方便省时的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 速率 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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