[发明专利]一种用于车载雷达的高功率VCSEL及其制备方法在审
| 申请号： | 202110337080.X | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN112736644A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 林晓珊;吴春寿;宁如光;杨祺;王苏杰;陈振宇;潘彬;王向武 | 申请（专利权）人： | 南昌凯捷半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/187 | 分类号： | H01S5/187;H01S5/32;H01S5/323;H01S5/343;H01S5/42 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 孙文伟 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市临*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于车载雷达的高功率VCSEL及其制备方法，本发明的高功率VCSEL包括沿生长方向依次生长的GaAs衬底、GaAs缓冲层、N型DBR层、五层有源层、氧化层、P型DBR层和P型GaAs层；所述VCSEL总腔长为5个腔长的整数倍。本发明使用隧穿结实现五个有源层串联，并且通过设计特定的腔长，提高了单位面积内的功率，实现更高功率；同时通过设计不同的势垒高度，解决载流子移动距离，提高辐射复合几率，增加粒子数反转，提高输出功率；通过生长厚度的设计，提高增益，改善驻波场，提高输出功率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 车载 雷达 功率 vcsel 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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