[发明专利]一种硫系狭缝光波导结构及其制备方法有效
| 申请号： | 202110338894.5 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113031151B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张巍;张雪雷;周晨峰;李承栋;徐培鹏;张培晴 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 浙江素豪律师事务所 33248 | 代理人： | 徐芙姗 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市江北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种硫系狭缝光波导结构及其制备方法，包括衬底层以及设于衬底层上的芯层，其特征在于：所述衬底层包括两个间隔设置的相同的等腰梯形结构，所述芯层覆盖所述梯形结构以及衬底层的表面，形成两个梯形平台，所述两个梯形平台之间形成梯形的空气狭缝。该硫系狭缝光波导结构，大大减小了狭缝波导的散射损耗，同时光波导制备方法不需要刻蚀波导芯层，减小了刻蚀工艺对狭缝波导的影响。这种制备方法还能将不同的材料作为波导芯层而基本不需要改变其工艺，具有普适性。同时也为后续利用这种新型狭缝波导制备光学器件提供了基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 狭缝 波导 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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