[发明专利]一种柔性三维力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110339251.2 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113125065B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 王凤霞;吴志勇;黄婷;孙立宁 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01L5/165 | 分类号： | G01L5/165;A61B34/00;A61B34/30;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州见山知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32421 | 代理人： | 袁丽花 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种柔性三维力传感器及其制造方法，其中，所述柔性三维力传感器，包括：自上而下设置的凸起受力层、第一微结构单元和第二微结构单元，所述第一微结构单元包括第一柔性衬底、第一电极层和第一微结构，所述第二微结构单元包括第二电极层、第二微结构和第二柔性衬底，所述第一微结构与所述第二微结构分别包括正面和背面，所述第一微结构的正面与所述第二微结构的正面相对设置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 三维 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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