[发明专利]一种仿生微阵列柔性电极及其制备方法、柔性压力传感器有效
| 申请号： | 202110339836.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113155327B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 李晖;陈静;李林;王磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12;G01L9/00;A61B5/00;A61B5/02;A61B5/103;B05D7/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 魏毅宏 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种仿生微阵列柔性电极及其制备方法、柔性压力传感器，该柔性电极的制备方法，包括以下步骤：提供植物叶片；将PDMS预聚物与固化剂混合得到PDMS混合物；将PDMS混合物浇注在植物叶片上，将固化后的PDMS取出得到模具；将模具贴附在模板上，开启真空吸附；配制AgNWs分散液并将其喷涂至模具上，经过退火处理。本发明的柔性电极的制备方法，以表面具有特有的微米级锥型阵列结构的植物叶片为模板，制备得到模具，同时结合真空吸附形成的毫米级半圆凸起阵列，形成具有微米至毫米等不同尺寸的三维阵列结构，具有该结构的微阵列柔性电极，使得传感器对不同量级的压力具有良好的响应特性，测量范围大大拓宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 仿生 阵列 柔性 电极 及其 制备 方法 压力传感器 | ||
【主权项】：
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