[发明专利]一种棒外气相沉积的调控方法及设备有效
| 申请号： | 202110340837.0 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN112794639B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 王卫勇;高志维 | 申请（专利权）人： | 藤仓烽火光电材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018;C03B37/014 |
| 代理公司： | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人： | 费雅倩 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种棒外气相沉积的调控方法及设备，涉及光纤预制棒制造技术领域。本调控方法首先分别确定沉积开始前多个排气阀的开度值，根据多个开度值拟合形成多个排气阀在沉积时开度值随位置变化的理论的调节曲线，在沉积过程中监测疏松体的外径尺寸，若监测到疏松体的外径尺寸每增加预设厚度，则将理论的调节曲线的对应段沿其所处坐标的纵坐标方向向下移动第一预设距离，若监测到疏松体的外径尺寸增加的厚度小于预设厚度，则保持理论的调节曲线的对应段的形态不变，最后根据调节曲线的实际形态分别实时调节各个排气阀的开度值。本申请提供的调控方法解决了相关技术中疏松体在沉积的过程中沉积品质和效率难以维持稳定的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 棒外气相 沉积 调控 方法 设备 | ||
【主权项】：
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