[发明专利]一种经时击穿测试结构、方法及经时击穿测试试样有效
| 申请号： | 202110340876.0 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113092977B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 王志强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高天华;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种经时击穿测试结构、方法及经时击穿测试试样，其中，经时击穿测试结构至少包括：电源电压焊垫、至少一个分压元件和测试焊垫；所述电源电压焊垫与所述至少一个分压元件连接，所述电源电压焊垫用于提供电源电压；所述分压元件用于对所述电源电压进行分压处理，得到多个不同的电压点；每一所述电压点与待测样品中的一个测试单元的一端连接，且每一所述测试单元的另一端与所述测试焊垫连接；所述测试焊垫用于输出所述待测样品在不同的所述电压点下，电流随时间的变化规律，以实现通过所述变化规律确定所述待测样品的经时击穿测试结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 击穿 测试 结构 方法 试样 | ||
【主权项】：
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