[发明专利]滤波器的制备方法、滤波器有效
| 申请号： | 202110341609.5 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113098417B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 吴明;唐兆云;王家友;赖志国;唐滨;王矿伟;刘海瑞;杨清华 | 申请（专利权）人： | 苏州汉天下电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滤波器的制备方法、滤波器。滤波器的制备方法包括：提供衬底，所述衬底包括中心区和环绕所述中心区的边缘区；形成位于所述衬底中心区的至少两个薄膜谐振器单元；形成覆盖所述薄膜谐振器单元的空腔牺牲层；在所述空腔牺牲层远离所述衬底的表面生长形成封装层，所述封装层覆盖所述空腔牺牲层和所述衬底的边缘区；释放所述空腔牺牲层以形成空腔。本发明实施例能够节约滤波器生产时所需的材料，减少生产周期，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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