[发明专利]一种用于检测衬底的装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202110341860.1 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113092500A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 刘志煌;枋明辉;黄世维;林仲和;林彦甫;杨胜裕 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种用于检测衬底的装置及其使用方法，本发明结合压电材料（如钽酸锂、铌酸锂）产线的实际需求以及后续滤波器件制作加工的实际需要提出了一种新型的衬底检测装置：该装置包括主摄像镜头、反射率镜头、透射率镜头、色度采集装置和计算机模块，利用该装置可以检测衬底的直径以及衬底抛光面的洁净度、刮伤和凹洞等缺陷，同时还可以检测衬底边缘的损伤和衬底的色度，克服了传统目检和镭射检测的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 衬底 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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