[发明专利]一种图像传感器的制作方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器的制作方法，提供一晶圆，所述晶圆上形成有芯片区域，所述芯片区域包括电路区域和像素区域，所述像素区域外环绕设置所述电路区域，所述电路区域形成有晶体管和铝焊盘，所述铝焊盘环绕设置于所述晶体管的外围；所述铝焊盘的表面形成有结晶缺陷；在所述晶圆上形成图形化的光刻胶，所述图形化的光刻胶覆盖所述像素区域和所述电路区域的晶体管，并暴露出所述电路区域的铝焊盘；去除所述铝焊盘的表面上的结晶缺陷；进行湿法清洗工艺，以去除所述铝焊盘表面的氟离子；进行氧化工艺，以在所述铝焊盘的表面上形成氧化膜，防止所述铝焊盘的表面再次产生结晶缺陷。