[发明专利]一种六方氮化硼异质结的制备方法及六方氮化硼异质结在审
| 申请号： | 202110343608.4 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113224141A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 王浩林;谢涌 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/205 | 分类号： | H01L29/205;H01L29/225 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种六方氮化硼异质结的制备方法及六方氮化硼异质结，所述方法包括：在金属箔衬底上生长六方氮化硼薄膜；去除金属箔衬底，并将六方氮化硼薄膜转移至介质衬底上；将上一步得到的样品经过退火处理后放入生长腔室中，同时在该生长腔室放入过渡金属二硫族化合物的前驱体；向生长腔室通入载气，以使过渡金属二硫族化合物的前驱体在六方氮化硼薄膜表面发生反应，得到过渡金属二硫族化合物与六方氮化硼异质结。本发明提供的制备方法能够直接在六方氮化硼薄膜上大面积生长过渡金属二硫族化合物，以形成过渡金属二硫族化合物/六方氮化硼异质结，避免了传统机械转移方法易出现的破损、褶皱及转移媒介造成的界面缺陷和污染等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 硼异质结 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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