[发明专利]12吋单晶硅棒的拉制收尾工艺在审
| 申请号： | 202110344138.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113073382A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 广东高景太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 卢泽明 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及12吋单晶硅棒生产技术领域，公开了一种12吋单晶硅棒的拉制收尾工艺，按如下步骤进行：S1、升温维持：当单晶硅棒的长度拉制到规定长度后，开始收尾，维持初始温度和单晶硅棒等径末期的晶升速度，将单晶炉内的温度升温，并降低晶升速度；S2、缩颈生长：在所述升温维持阶段末端单晶炉的温度基础上提高单晶炉的温度，调节单晶硅棒的上升速度；S3、收尖阶段：在所述缩颈生长阶段末端单晶炉的温度基础上提高单晶炉的温度，提高单晶硅棒的晶升速度；S4、结束收尾：当单晶硅棒收尾阶段的长度达到180～240mm，优选小于等于200mm，单晶硅棒收尾末端的断面直径小于30mm时，降低埚位，使单晶硅棒脱离埚位内的硅单质熔液的液面，结束收尾。 | ||
| 搜索关键词： | 12 单晶硅 拉制 收尾 工艺 | ||
【主权项】：
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