[发明专利]工艺参数调整模型的训练方法、工艺参数调整方法及装置

摘要

本申请提供一种工艺参数调整模型的训练方法、工艺参数调整方法及装置。工艺参数调整模型的训练方法包括：获取训练样本数据；将训练样本数据输入至初始的网络模型中，得到样本产品基于缺陷信息的多项工艺参数的预测调整数值；基于预测调整数值以及预先获取的真实调整数值计算损失值，并通过最小化损失值，对初始的网络模型进行更新，生成工艺参数调整模型。在本申请实施例中，训练完成得到的工艺参数调整模型能够对缺陷的产品进行统一的量化分析，且通过训练好的工艺参数调整模型直接给出所需调整的数值，节省了大量的人力物力。此外，通过上述工艺参数调整模型，有助于后续关于缺陷规则的更新和维护。