[发明专利]一种用于硅片自动装花篮的插片机在审
| 申请号： | 202110344478.6 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114275540A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 徐寒生 | 申请（专利权）人： | 济南晶博电子有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G59/02;B65G65/32;B65G39/07;H01L21/677 |
| 代理公司： | 济南领升专利代理事务所(普通合伙) 37246 | 代理人： | 王吉勇 |
| 地址： | 250200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于硅片自动装花篮的插片机，涉及半导体硅片生产机械技术领域，包括工作台、和设置在工作台上的的料桶和花篮，工作台倾斜设置，料桶的位置高于花篮的位置，料桶的下端设有上推机构，花篮通过花篮底座设置在工作台面上，花篮底座的两端滑动设有导杆，花篮底座的底端设有齿条，齿条的顶端贯穿工作台固定在花篮底座上，齿条通过齿轮传动，齿轮连接有驱动机构，料桶的顶端设有排料轮，排料轮通过传动机构与驱动机构连接。本发明利用一个驱动电机利用推动花篮移动的同时，旋转排料轮把硅片装入花篮，完成自动分片装入花篮的动作，自动装蓝的同时，有效避免了对硅片的污染和易碎的问题，有效提升了分片的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 自动 花篮 插片机 | ||
【主权项】：
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