[发明专利]一种柔性温压一体化传感器及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202110344806.2 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113091811A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 黎威志;刘坤林;苏元捷;太惠玲;顾德恩;王洋;袁柳 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01D5/24 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 轩勇丽 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性温压一体化传感器及其制备方法和应用，涉及柔性可穿戴电子领域，包括电容器介电层及分别粘合在电容器介电层上表面和下表面的柔性电极，所述电容器介电层为多孔PDMS薄膜，所述柔性电极为图形化的金属温敏薄膜。本发明所制得的柔性温压一体化传感器与其他类似传感器相比，采用叠层结构有效地减小的传感器的大小，金属温敏薄膜既作温度传感器又作平板电容极板，使敏感材料得到了重复利用，进一步减小了传感器的制备成本，提高了制备成功率；同时金属温敏薄膜作电容极板能起到屏蔽外来磁场干扰的作用，使得温度、压力各自的微小信号都能被探测到。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 一体化 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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