[发明专利]一种太阳能电池、其AlOx镀膜方法、电池背钝化结构及方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池、其AlOx镀膜方法、电池背钝化结构及方法，属于太阳能电池制备技术领域。本发明将经热氧化退火后的硅片置入管式PECVD设备中，将腔体抽真空到100‑2000mtorr的压强下，并将腔体温度加热到300‑400℃后，通入笑气和TMA的反应气体，打开射频电源制备AlOx钝化膜，所述AlOx钝化膜采用两层、三层或多层膜的结构。本发明采用AlOx多层膜，对每层AlOx膜采用NH3和N2O其进行处理，从而整体增加AlOx膜的钝化效果。同时，底层通过低沉积速率和高氧含量的工艺条件，进一步增加了AlOx的负电荷密度，提高了硅片背表面的场钝化效果；外层采用高沉积速率工艺，确保整体工艺时间不受影响。通过本发明提供的技术路线制备的太阳能电池片，转换效率可以提升0.05‑0.10％。