[发明专利]一种制备二氧化钛超透镜的大面积加工工艺

摘要

本发明公开了一种制备二氧化钛超透镜的大面积加工工艺。包括在基底的上沉积一层二氧化钛膜；在二氧化钛膜的上沉积一层金属层；在金属层的上旋涂一层压印胶层，采用纳米压印方法在压印胶层的上表面上得到微纳结构图案；先对压印胶层和金属层进行刻蚀；再对金属层和二氧化钛膜进行刻蚀，并在基底上得到呈微纳结构图案的二氧化钛。本发明具有效率高、成本低和可以大面积制备的优点，并且采用本发明得到的二氧化钛具有优异的深宽比，本发明制备的二氧化钛的深宽比为10:1；本发明解决了现有技术中难以大面积制备的技术难题，并且采用本发明制备的二氧化钛结构垂直度高接近于90度，提高了二氧化钛结构光学性能更优异，并且提高光学传感性能。