[发明专利]位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202110346461.4 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113495428A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 山口直树 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;齐文文 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法。为了提供能够减少驱动中的负荷并且能够以简单的构造对基板进行调温的位置对准装置，本发明涉及的位置对准装置(60)具备：基板保持部(3)，其将基板(1)保持于基板保持面；基板调温部(8)，其经由基板保持部(3)对基板(1)进行调温；驱动部(4、5、6、7)，其使基板保持部(3)移动；以及控制部，其控制驱动部(4、5、6、7)，基板调温部(8)在与基板保持面不同的、基板保持部(3)的第二面接触的状态下对基板(1)进行调温。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 对准 装置 图案 形成 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110346461.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：树脂组合物
- 下一篇：识别遗留物品的组件、模块装置、方法以及车辆和计算机程序
