[发明专利]一种提高亮度的LED外延片的制作方法有效
申请号: | 202110347563.8 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN113097350B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 徐平 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/22 |
代理公司: | 长沙七源专利代理事务所(普通合伙) 43214 | 代理人: | 刘伊旸;周晓艳 |
地址: | 423038 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种提高亮度的LED外延片的制作方法,所述LED外延片的AlN层上设有按顺序依次循环排列的凸起的圆锥体、铝区域层以及凹陷且倒置的圆锥腔,三者之间互不相连;所述制作方法包括以下步骤,步骤3、在AlN层上间隔制作多个凸起的圆锥体;步骤4、在AlN层上间隔制作多个凹陷且倒置的圆锥腔,所述圆锥腔与圆锥体交错设置且两两不相连;步骤5、在AlN层上间隔制作多个铝区域层,每个铝区域层均与圆锥腔和/或圆锥体相邻;步骤6、在AlN层上周期性生长多个多量子阱发光层。本发明能够提升LED外延片的亮度、增强抗静电能力、提高波长的集中度,还能降低LED外延片的正向电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 亮度 led 外延 制作方法 | ||
【主权项】:
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