[发明专利]具有掺杂氧化物金属渐变层的耐高温电极及其制备方法有效
| 申请号： | 202110348190.6 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113178516B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 轩伟鹏;章弥灵;陈金凯;董树荣;金浩;骆季奎 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/29;C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/35;C23C16/40;C23C16/455;C23C28/00 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了具有掺杂氧化物金属渐变层的耐高温电极及其制备方法。现有叉指电极在高温下容易团聚发生退化。本发明在衬底上沉积耐高温氧化物层；耐高温氧化物层上沉积间距设置的n层掺杂氧化物金属渐变层；每个掺杂氧化物金属渐变层上沉积若干薄膜层组；若薄膜层组的数量大于1，则各薄膜层组上下堆叠；薄膜层组由从上至下排布的掺杂氧化物金属渐变层和薄膜层组成；掺杂氧化物金属渐变层的材料为掺杂氧化物的金属。本发明在电极层中加入一层耐高温氧化层，可有效阻止高温下电极的熔融与断裂；在电极层中掺杂氧化物，可有效阻止高温下再结晶与晶粒生长，使得电极具有足够高的导电性被应用于高温声表面波器件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 掺杂 氧化物 金属 渐变 耐高温 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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