[发明专利]一种用于激光精密加工的装置及其方法在审
| 申请号： | 202110349241.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112935529A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 王馨梅;王伟;熊培羽;陈炜龙;刘旭阳;邢毓华;张翔;申晓昂;赵晨晨 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/08;B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 宁文涛 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光精密加工的装置，包括光电传感器阵列架，光电传感器阵列架的中心处设有激光头，激光头的正下方设有加工平台，加工平台上设有加工工件，激光头经激光出光口发射的激光束垂直照射至加工工件上，所述激光束对加工工件进行烧蚀产生等离子体辐射光信号；加工平台的下方设有三自由度平移台。本发明还公开了一种用于激光精密加工的装置的加工方法，本发明解决了目前行业内无法自动精准地跟随激光焦点位置的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 精密 加工 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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