[发明专利]多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法有效
| 申请号： | 202110349321.2 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112945054B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 王国铃;张云天;张强 | 申请（专利权）人： | 江苏东方瑞吉能源装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/00 | 分类号： | G01B5/00 |
| 代理公司： | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人： | 柳强 |
| 地址： | 212100 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了多晶硅CVD还原炉钟罩夹套封头导流板划线检验装置及方法，包括凸模组件和凹模组件，凸模组件包括凸模框架，凸模框架上安装有凸模压板，凸模框架的左右两侧安装有滑动组件，凸模框架的内腔还安装有丝杆，且丝杆与滑动组件相配合安装，丝杆的外壁安装有手轮，凸模压板的外侧壁安装有多个销轴，销轴的外部配合安装有蝶形螺母，凸模压板的内侧壁安装有滑片，凹模组件包括凹模框架和活动支架组件，活动支架组件与滑片相配合卡接安装。本发明解决了钟罩制造过程中，导流板与外封头间隙测量与划线修配的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 cvd 还原 炉钟罩夹套封头 导流 划线 检验 装置 方法 | ||
【主权项】：
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