[发明专利]反射式位移测量装置在审
| 申请号： | 202110349859.3 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112902854A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 苟敬德;王洋;杨尚;赵尔瑞;李德胜 | 申请（专利权）人： | 长春禹衡光学有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130000 吉林省*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种反射式位移测量装置，包括：投影系统、指示光栅、反射标尺光栅和接收系统，投影系统发出的平行光入射到指示光栅，并经过指示光栅入射到反射标尺光栅的表面，再反射回指示光栅产生莫尔条纹投影到接收系统转换为电信号；指示光栅包括玻璃基材，在玻璃基材镀有吸光膜，在吸光膜上刻蚀有由振幅光栅和相位光栅组成的只拥有±1级衍射条纹的复振幅光栅。本发明提供的反射式位移测量装置能够在提高能使用率、降低光栅的制造难度的条件下获得理想的光强分布。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春禹衡光学有限公司，未经长春禹衡光学有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110349859.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种特高压输电线路用辅助接线装置
- 下一篇：微服务的调用方法与电子设备
