[发明专利]一种含类富勒烯微结构碳氢薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种含类富勒烯微结构碳氢薄膜及其制备方法和应用，属于碳氢薄膜技术领域。所述制备方法包括通过先将洁净的基底材料进行氩离子清洗，然后采用等离子体增强化学气相沉积技术，以甲烷为前驱体，配合高频脉冲离子源在基底材料上进行沉积，制得含类富勒烯微结构碳氢薄膜；其中，通过调节等离子体增强化学气相沉积的工作参数，能够实现含类富勒烯微结构碳氢薄膜的可控制备。本发明所述制备方法工艺简单，可实现在常温度条件下反应，能够实现大面积含类富勒烯微结构碳氢薄膜的生产。制得的含类富勒烯微结构碳氢薄膜具有硬度高、弹性恢复系数高、摩擦系数低的特征，应用于运动机械零部件表面可大幅降低表面摩擦系数。