[发明专利]一种金属掺杂二硫化钼超滑薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110352638.1 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113088911A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 师晶;王成兵;杨金柱;王维科;王琬瑢 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李红霖 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属掺杂二硫化钼超滑薄膜及其制备方法，属于表面处理方法领域。通过将洁净的基底经氩离子清洗后，采用非平衡磁控溅射沉积系统技术，先在基底表面沉积金属过渡层，采用双靶共溅射技术，继续沉积金属掺杂二硫化钼层，制得金属元素掺杂二硫化钼超滑薄膜。该方法制得的金属元素掺杂二硫化钼超滑薄膜中金属元素的掺杂有利于固定同时活化二硫化钼片层、促使其垂直排列取向。所述具有超滑性能的固体润滑材料表面含有所述金属元素掺杂二硫化钼超滑薄膜；同时所述金属元素掺杂二硫化钼超滑薄膜能够应用在大气环境中运动机械零部件表面，实现超滑减摩抗磨。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 掺杂 二硫化钼 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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