[发明专利]一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置在审
| 申请号： | 202110355599.0 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113074917A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 曹兆楼;沈孟贤;张晓浩;裴世鑫;李金花;咸冯林 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 210044 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置，装置包括上位机、控制器、电源模块、测量模块、电动聚焦平移台、电动扫描平移台和待测样品；电动聚焦平移台带动测量模块连续移动，改变其与待测样品表面的距离，使得聚焦光点成像的状态从离焦至聚焦至离焦连续发生变化，移动中拍摄待测样品表面图像；电动扫描平移台用于改变待测样品表面的测量区域；所述测量模块通过Bessel光束实现待测样品表面成像；上位机包括不同微纳结构特征参数所对应的三维图像栈分布数据库，通过分析待测样品表面图像形成图像栈，与数据库进行对比确定微纳结构特征参数。本发明为非接触测量，不会损伤表面且成本较低，效果更优。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 bessel 光束 扫描 结构 特征 参数 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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