[发明专利]一种基于电磁控制阀的MEMS质量流量控制器及控制方法有效
| 申请号： | 202110356053.7 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113513605B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 胡国庆;田伟 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16K31/06 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于电磁控制阀的MEMS质量流量控制器及控制方法，包括壳体、质量流量传感器和膜片，壳体包括下基板、上盖板以及由二者围成的气流通道；质量流量传感器设置在下基板上靠近气流通道的入口一侧；膜片设置在下基板上靠近气流通道的出口一侧；膜片两端设置于下基板上，膜片中部与下基板之间设有振动空隙；膜片下表面设置磁性件，上盖板或下基板上与磁性件对应的位置处设置有电磁线圈。本发明利用质量流量传感器对气体流量进行精确测量并实时反馈，作为调节电磁线圈通电状态的依据，进而利用磁力驱动膜片发生形变，改变气流通道大小，以实现对微小流量的高精度控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 电磁 控制 mems 质量 流量 控制器 方法 | ||
【主权项】：
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