[发明专利]一种MEMS质量流量控制器及控制方法有效
| 申请号： | 202110356195.3 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113157008B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 胡国庆;田伟 | 申请（专利权）人： | 青岛芯笙微纳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS质量流量控制器及控制方法，包括壳体以及位于壳体内部的质量流量传感器和微加热器，所述壳体包括下基板及上盖板及由二者围成的气流通道；质量流量传感器固定在下基板上，且位于靠近气流通道的入口一侧；微加热器通过导热介质固定在上盖板上，且位于靠近气流通道的出口一侧。本发明所公开的MEMS质量流量控制器利用质量流量传感器对气体流量进行测量并实时反馈，作为调节微加热器功率的依据，进而利用导热介质热胀冷缩引起的形变实现对微小流量的高精度控制，本发明具有结构简单、体积小、成本低、制备可控性强的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 质量 流量 控制器 控制 方法 | ||
【主权项】：
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