[发明专利]一种微波等离子体加工装置

摘要

本发明公开了一种微波等离子体加工装置，包括微波源、微波环形器、功率调节器、矩形波导、调谐器、天线、反应箱、混气系统、真空系统，微波源连接微波环形器，微波环形器射出端连接矩形波导，功率调节器分别连接微波环形器的射出端和微波源，功率调节器根据微波射出功率调整微波源激发功率，矩形波导侧壁上设置调谐器，反应箱安装到矩形波导的末端侧面，天线插入矩形波导和反应箱的顶端，混气系统往反应箱内注入工质气体，真空系统对反应箱内抽真空并保持真空状态；反应箱内等离子云受电磁力而进行内循环。