[发明专利]一种退火炉降温速率校准的方法在审
| 申请号： | 202110356915.6 | 申请日： | 2021-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN113281304A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 魏星;魏涛;薛忠营 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G01N21/49;G01N21/59;G01N25/20;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京磐华捷成知识产权代理有限公司 11851 | 代理人： | 谢栒 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种退火炉降温速率校准的方法，所述方法包括：在所述第一退火炉中对多个第一晶圆进行加热；将多个所述第一晶圆在所述第一退火炉中在不同的降温时间内分别降温至预设温度；测量多个第一晶圆的表面参数；建立表面参数和所述降温时间的第一对应关系；在第二退火炉中对多个第二晶圆进行加热和降温，以建立表面参数和降温时间的第二对应关系，其中第二晶圆的加热和降温的条件与所述第一晶圆的加热和降温条件相同；以所述第一对应关系为参照，调节所述第二退火炉中的降温速率，以将所述第一对应关系和所述第二对应关系中相同降温时间下的表面参数校准到同一水平。通过所述方法在高温退火过程中发现降温速率的差异，并实现降温速率的校准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 退火炉 降温 速率 校准 方法 | ||
【主权项】：
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