[发明专利]一种冗余填充方法在审
| 申请号： | 202110359995.0 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113312870A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张恒;刘峻 | 申请（专利权）人： | 长江先进存储产业创新中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392;H01L27/24 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高天华;张颖玲 |
| 地址： | 430014 湖北省武汉市东湖新技术开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种冗余填充方法，所述方法包括：形成第一堆叠结构，所述第一堆叠结构包括下部位线层和存储堆叠层；对所述第一堆叠结构沿第一方向进行刻蚀，以形成沿第二方向交替排列的第一间隙和第一相变结构体，所述第一方向垂直于所述第二方向；所述第一相变结构体包括第一功能结构和第一冗余结构；在所述第一间隙中填充隔热材料，以形成的填充层；对所述填充层进行平坦化处理，并去除所述第一冗余结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冗余 填充 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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