[发明专利]前驱体涂布激光制备氮化钽膜装置及方法

摘要

本发明涉及前驱体涂布激光制备氮化钽膜装置及方法，装置包括底座、喷笔和激光镜头模块，所述的喷笔和激光镜头模块设置在底座上。本发明通过激光镜头模块对基础材料表面进行照射使之表面温度升高，喷笔中通过高压载体气体将液态涂料雾化并预先混合成反应前驱体，反应前驱体自出料孔喷射到加热后的基础材料表面反应形成氮化钽。本发明的实施方法通过交替的供给液体涂料参于反应，可以提高氮化钽薄膜中的钽、氮的占比，从而得到质量优良的氮化钽薄膜。本发明可在大气下工作，对环境要求低，成膜质量高；克服了现有工艺对成膜设备以及严苛环境的依赖，使得氮化钽成膜工艺变成一种简易的喷涂工艺，极大地降低了设备成本，而且便于操作实施。